渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵啟動快，能抗各種射線的照射，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣汙染或汙染很少，能獲得清潔的超高真空。其結構複雜、對軸承耐磨程度要求高、製造成本高。該泵的工作壓力範圍為1~10^-8Pa，抽氣速率一般在5000L/s以下，泵的轉速為10000~50000r/min。該泵主要用作高真空泵和超高真空泵，但不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵。泵的主要性能（如極限壓力和抽速）與配置的前級泵的容量、泵的轉數、被抽氣體的種類有關。分子泵對較輕的氣體抽速較大，對氫的抽速比空氣的抽速大20%。

渦輪分子泵與其他高真空泵和超高真空泵相比較具有以下優點：

1．極限壓力低，先進的泵可以獲得10—⁹Pa的極限壓力。

2．工作壓力範圍寬，在9個數量級的壓力範圍內具有穩定的抽速。

3．結構緊湊，由置於泵體內的中頻電動機直接驅動，渦輪轉子為整體式結構

4．是一種少油泵，它既不像其他機械泵那樣用油作工作液，也不用油來密封，隻是其轉子仍然用油來潤滑，可能有少量潤滑油會進入被抽係統。

5．泵的振動小，噪聲低，工作平穩，啟動時間短，一般在4～15min內能達到滿抽速。

6．對大分子量的氣體有較高的壓縮比，且中頻電動機置於前級空間，能獲得清潔的高真空和超高真空，另外利用對氦壓縮比低的特點，可在逆擴散型的午夜资源福利中做主泵使用。